石墨在PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）承載板中的主要用途是提供穩定的基板支撐和熱傳導性能。以下是石墨在PECVD承載板中的主要應用：
- 基板支撐：PECVD是一種用於薄膜沉積的製程技術，其中薄膜被沉積在基板上。石墨承載板作為基板的支撐結構，能夠提供穩定的平台，確保薄膜在製程過程中的均勻性和一致性。石墨的高強度和耐用性使其成為一個理想的承載板材料，能夠承受高溫和機械應力。
- 熱傳導性能：PECVD製程通常需要在高溫下進行，以促進氣相反應和薄膜的成長。石墨具有優異的熱傳導性能，能夠有效地將熱量從基板傳導到承載板的其他部分，以確保整個基板的均溫性和穩定性。這有助於避免熱點形成和薄膜非均勻性，提高製程的精度和可重複性。
總結而言，石墨在PECVD承載板中的主要用途是提供穩定的基板支撐和優異的熱傳導性能。作為基板支撐，石墨能夠確保薄膜在製程中的均勻性和一致性。作為熱傳導材料，石墨能夠有效地將熱量從基板傳導出去，確保製程的溫度均勻性和穩定性。石墨在PECVD製程中的應用有助於提高薄膜沉積的品質和製程的可控性。