石墨在磊晶盤烤架中的主要用途是作為熱傳導材料和支撐結構材料。以下是石墨在磊晶盤烤架中的主要應用：
- 熱傳導材料：石墨具有優異的熱傳導性能，能夠快速且均勻地將熱量傳遞到磊晶盤上。在半導體磊晶製程中，石墨烤架能夠有效地將熱量傳導到磊晶盤，使其達到所需的溫度並實現均勻的熱分佈，從而促進晶片的生長和品質控制。
- 支撐結構材料：石墨烤架作為支撐結構的一部分，能夠提供穩定的支撐平台，使磊晶盤能夠牢固地固定在烤架上。石墨材料具有高強度和耐高溫性，能夠承受磊晶過程中的重量負載和高溫環境，確保磊晶盤的穩定性和安全性。
總結而言，石墨在磊晶盤烤架中的主要用途包括作為熱傳導材料和支撐結構材料。作為熱傳導材料，石墨能夠快速且均勻地將熱量傳遞到磊晶盤上，實現均勻的熱分佈，從而促進晶片的生長和品質控制。作為支撐結構材料，石墨烤架能夠提供穩定的支撐平台，確保磊晶盤能夠牢固地固定在烤架上並承受磊晶過程中的重量負載和高溫環境。石墨烤架的應用有助於實現高效的熱傳導和穩定的支撐結構，從而確保磊晶製程的成功進行。