石墨在磊晶環中的主要用途是作為支撐材料和保護層。以下是石墨在磊晶環中的主要應用：
- 支撐材料：石墨磊晶環通常用於支撐磊晶盤和晶圓。它提供了一個堅固的平台，確保晶片能夠穩定地固定在環上。石墨磊晶環具有高強度和耐高溫性，能夠承受磊晶過程中的重量負載和高溫環境。
- 保護層：石墨磊晶環可以作為保護層，防止磊晶過程中的污染和損傷。石墨材料具有優異的耐腐蝕性和化學穩定性，可以抵抗腐蝕性氣體和化學品的侵蝕，確保磊晶過程的純淨性和品質。
總結而言，石墨在磊晶環中的主要用途是作為支撐材料和保護層。作為支撐材料，石墨磊晶環提供穩定的支撐平台，確保晶片能夠固定在環上。作為保護層，石墨磊晶環能夠防止污染和損傷，保護磊晶過程的純淨性和品質。石墨磊晶環的應用有助於實現穩定的支撐和保護，確保磊晶過程的成功進行。